“10nm及以下技术节点的半导体新技术、新材料发展趋势研究”通过中期评审

来源:办公厅《院士通讯》编辑部   发表时间:2016-06-08

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    4月6日,上海市经信委组织相关专家对上海院士中心承担的2015年上海市软件和集成电路产业发展课题研究项目——《10nm及以下技术节点的半导体新技术、新材料发展趋势研究》开展中期评审。何军常务副主任、张卫教授代表课题组分别作了工作及课题情况汇报。

 

    本课题以集成电路新技术、新材料、新器件的基础研究为抓手,立足于国际主流的先导工艺技术方向,重点探讨了先进的集成电路工艺技术、三维系统芯片及封装技术,详细研究了上海芯片制造业未来的工艺技术、主要发展方向,并提出了具体的举措和建议。

 

    专家组经过深入讨论和综合评议,认为中期报告思路清晰、内容全面、研究重点与难点准确,达到了研究目的和要求。建议课题组进一步细化并完善平台建设、新技术产业化、政府支持及人才培养等方面的内容。

 

    市经信委电子信息产业处、市经信委发展研究中心、复旦大学、上海大学、上海集成电路产业促进中心、上海市集成电路行业协会等单位专家出席评审会。

 

    (张丽莉、顾锡新)

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